微纳光学技术平台
平台以微纳光学设计、加工、检测、集成应用技术为核心，围绕光通信、工业激光、消费电子、智能驾驶、高端装备等领域对微型化光学元件及组件的需求，开展研发、生产及销售服务。
平台具有光刻刻蚀、精密模压、纳米压印三条产品线，拥有工业级电子束光刻机、激光直写机、金刚石车床等先进微纳光学模具制作设备，并研制和购置了全套量产设备，产品材料可覆盖金属、晶体、玻璃、高分子，产品尺寸最大可达12寸，产品特征尺寸覆盖亚百纳米到百微米。具有超表面、光谱分光元件、偏振元件、微透镜、衍射元件、折掩混合元件的设计能力，并自主研发了专用设计算法程序，可实现各种连续面型及台阶结构的微透镜阵列、doe、metalens、偏振线栅、光栅、自由曲面、折掩混合透镜研制及生产。
平台具有光刻刻蚀、精密模压、纳米压印三条产品线，拥有工业级电子束光刻机、激光直写机、金刚石车床等先进微纳光学模具制作设备，并研制和购置了全套量产设备，产品材料可覆盖金属、晶体、玻璃、高分子，产品尺寸最大可达12寸，产品特征尺寸覆盖亚百纳米到百微米。具有超表面、光谱分光元件、偏振元件、微透镜、衍射元件、折掩混合元件的设计能力，并自主研发了专用设计算法程序，可实现各种连续面型及台阶结构的微透镜阵列、doe、metalens、偏振线栅、光栅、自由曲面、折掩混合透镜研制及生产。
